Analisi delle criticità e caratterizzazione di giroscopi MEMS nanostrutturati e dell'elettronica di pilotaggio

La presente tesi descrive i modelli fisici che descrivono il funzionamento dei giroscopi e le possibili scelte progettuali. Sono inoltre presentati e discussi i risultati sperimentali ottenuti caratterizzando delle strutture di test, le quali sono poi state utilizzate per la realizzazione di un oscillatore di drive, e di una versione dello stesso circuito con implementazione di un controllo automatico della velocità. Infine si espongono i primi risultati ottenuti da simulazioni inerenti l'analisi preliminare di un giroscopio triassiale per applicazioni mediche, che sarà successivamente progettato sempre nell'ambito di questo progetto europeo.